华南理工大学学报（自然科学版） ›› 2021, Vol. 49 ›› Issue (11): 116-126.doi: 10.12141/j.issn.1000-565X.210104
所属专题： 2021年电子、通信与自动控制
基于纳米ZnO触觉传感器的研究进展
刘玉荣1,2 陈明1
- 1.华南理工大学 微电子学院，广东 广州510640；2.人工智能与数字经济广东省实验室（广州），广东 广州510335
Research Progress of Tactile Sensors Based on Nano-ZnO
LIU Yurong1,2 CHEN Ming1
- 1.School of Microelectronics，South China University of Technology，Guangzhou 510640，Guangdong，China；
2.Guangdong Artificial Intelligence and Digital Economy Laboratory（Guangzhou），Guangzhou 510335，Guangdong，China
摘要： 触觉传感器因可以模仿人类皮肤感知外界信息而获得广泛的关注和研究，其中基于纳米ZnO的触感传感器及其阵列因具有高灵敏度、高机械强度、高柔韧性、生物兼容性好、低成本工艺等优点，在仿生机器人、人机交互、生物医学和可穿戴电子设备等领域具有广阔的应用前景。文中首先介绍了纳米ZnO触觉传感器基于压电效应的传感机理及其主要制备方法，然后从压电性能优化、多功能化、集成化、阵列化4个方面系统概述了纳米ZnO压电触觉传感器的研究进展，列举了相关技术领域与研究方向的最新成果，并讨论了ZnO触觉传感器在应力成像、人体运动和生理健康监测3个方面的应用研究，最后分析了其存在的不足和未来的主要研究方向。
中图分类号:
