基于分层八邻域方向预测算子的IC 芯片图像拼接技术

华南理工大学学报（自然科学版） ›› 2007, Vol. 35 ›› Issue (12): 56-60.

基于分层八邻域方向预测算子的IC 芯片图像拼接技术

梁忠伟叶邦彦彭锐涛徐兰英

华南理工大学机械工程学院，广东广州 510640

收稿日期:2007-01-22 出版日期:2007-12-25 发布日期:2007-12-25
通信作者: 梁忠伟(1978-) ，男，博士生，主要从事机器视觉、图像处理研究. E-mail:Izwstalin@126.com
作者简介:梁忠伟(1978-) ，男，博士生，主要从事机器视觉、图像处理研究.

Image-Splicing Technology for IC Chip Inspection Based on Direction-Predicting Operator of Grading 8 Neighborhoods

Liang Zhong-wei Ye Bαng-yan Peng Rui-tao Xu Lan-ying

School of Mechanical Engineering , South China Univ. of Tech. , Guangzhou 510640 , Guangdong , China

Received:2007-01-22 Online:2007-12-25 Published:2007-12-25
Contact: 梁忠伟(1978-) ，男，博士生，主要从事机器视觉、图像处理研究. E-mail:Izwstalin@126.com
About author:梁忠伟(1978-) ，男，博士生，主要从事机器视觉、图像处理研究.

摘要/Abstract

摘要： 为了对IC 芯片进行精密光学检测，需要完整而准确地获取芯片形貌的图像.文中针对IC 芯片表面形貌图像的获取要求，提出了一种基于分层八邻域方向预测算子的模板匹配方法，并运用于高精度要求的IC 芯片图像处理工作中.通过对获得的芯片显微图像的重叠部分进行匹配点的快速准确搜索，进而实现了芯片精密显微图像的高速拼接处理.编程实验证明，采用该方法可获得IC 芯片表面的清晰图像，使芯片的形貌和缺陷等细节能够得到很好的展现.

关键词: 芯片检测, 拼接, 方向预测算子, 模板匹配

Abstract:

In the accurate optical inspection of the IC chip , it is necessary to obtain complete and accurate images describing the surface features of the chip. For this purpose , a template matching method based on the directionpredicting operator of grading 8 neighborhoods is proposed and is then applied to the high-accuracy image splicing of the IC chip. By quickly and accurately searching the matching pixel in the overlapping part of the microscopic
image , high-speed splicing of IC chip images is implemented. Experimental results indicate that the proposed method helps to obtain clear microscopic surface images of the IC chip as well as display effectively its topography and micro-flaws.

Key words: chip inspection, splicing, direction-predicting operator, template matching

梁忠伟叶邦彦彭锐涛徐兰英. 基于分层八邻域方向预测算子的IC 芯片图像拼接技术[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2007, 35(12): 56-60.

Liang Zhong-wei Ye Bαng-yan Peng Rui-tao Xu Lan-ying. Image-Splicing Technology for IC Chip Inspection Based on Direction-Predicting Operator of Grading 8 Neighborhoods[J]. Journal of South China University of Technology (Natural Science Edition), 2007, 35(12): 56-60.

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