用IR及XPS研究Photo-CVD SiO_2薄膜特性

华南理工大学学报(自然科学版) ›› 2003, Vol. 31 ›› Issue (7): 61-64.

用IR及XPS研究Photo-CVD SiO_2薄膜特性

刘玉荣李观启黄美浅

华南理工大学应用数学系.广东广州 510640

出版日期:2003-07-20 发布日期:2022-09-28
通信作者: 刘玉荣(1968一),男,讲师,主要从事薄膜传感及微电子器件研究．
作者简介:刘玉荣(1968一),男,讲师,主要从事薄膜传感及微电子器件研究．

Properties of Photochemical Vapor Deposition Silicon Dioxide Thin-film Studied by IR and XPS

LIU Yu-rong LI Guan-qi

Dept.of Applied physics,South China Univ.Huang Mei-qian of Tech.Guangzhou 510640,China

Online:2003-07-20 Published:2022-09-28
Contact: 刘玉荣(1968一),男,讲师,主要从事薄膜传感及微电子器件研究．
About author:刘玉荣(1968一),男,讲师,主要从事薄膜传感及微电子器件研究．

摘要/Abstract

摘要： 在低温下采用以低压Xe气激发真空紫外光作光源,以SiH_4和O_2作为反应气体的直接光CVD技术在硅衬底上成功地淀积出SiO_2薄膜。用红外光谱分析发现,薄膜中未出现与Si—H、Si—OH相应的红外吸收峰,Si—O伸缩振动所对应的吸收峰峰位在1054～1069cm-1之间;通过高频C-V特性曲线计算出SiO_2-Si系统中固定氧化物电荷密度在2×1010～3×1011cm-2范围内;XPS分析表明,SiO_2薄膜中Si的2p能级结合能为103.6 eV,界面处亚氧化硅的总含量为每平方厘米3.72×1015个原子。

关键词: 光CVD, SIO2薄膜, 红外光谱, XPS, C-V特性
font-family:", font-size:14px, background-color:#FFFFFF, ">

Abstract: The direct photo-CVD SiO2 thin films were deposited successfully on silicon substrate at low temperature by using the SiH4 and O2 as the reaction gas and the low pressure Xe excited vacuum ultra-violet (VUV) as the photon source. The infrared absorption peaks related to the Si-H and Si-OH bonding do not appear in the FTIR spectrum of films, the absorption peaks related to the Si-O stretching vibration are in the range of 1 055 -1 069 cm-1. The fixed oxide charge density is in the range of 2×1010 ~3×1011 cm -2 by capacitance-voltage ( C-V) characteristics measurements. XPS analysis results show Si(2p) binding energy of the SiO2 film is 103.6 eV, the total amount of Silico-suboxide is 3. 72×1015 cm-2 at the SiO2/Si interface.

Key words: photo-CVD, SiO2 thin-film, FTIR, XPS, C-V characteristics

刘玉荣, 李观启, 黄美浅. 用IR及XPS研究Photo-CVD SiO_2薄膜特性[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(7): 61-64.

Liu Yu-rong, Li Guan-qi. Properties of Photochemical Vapor Deposition Silicon Dioxide Thin-film Studied by IR and XPS[J]. Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition), 2003, 31(7): 61-64.

[1]	许晓芳林海董颖博周闪闪. Mg²⁺对At.f 菌氧化活性的影响[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2016, 44(6): 41-46.
[2]	栗培龙丁湛陈冲. 橡胶粉在热沥青中的溶胀降解特性分析[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2016, 44(12): 97-103.
[3]	邹华生李雪峰吕雪营. 扁平形多频超声辐射反应器内停留时间的分布规律[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2015, 43(6): 9-14.
[4]	刘国琴方昭西李琪. 热榨与冷榨对亚麻油风味物质的影响及风味特征成分分析[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2015, 43(11): 1-7.
[5]	王达周曦亚苏达根. ZnO-Fe₂O₃-Na₂O-P₂O₅基太阳热反射材料的制备与反射特性[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2013, 41(2): 111-116.
[6]	武书彬赵玉双郭大亮李擘阴秀丽. 桉木APMP 制浆废液固形物的热解特性[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2012, 40(9): 1-7.
[7]	张学金李友明侯轶陆瑞江. 纸浆漂白过程流中非过程锰元素的表征及富集[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2011, 39(1): 18-23.
[8]	娄瑞武书彬吕高金杨卿. 草本类木素的化学与热化学性质表征[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2010, 38(8): 1-6.
[9]	何运兵纪红兵徐建昌王乐夫. 水分对原位漫反射红外光谱表征的影响及其消除[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2009, 37(6): 31-36.
[10]	张志杰唐正宇柯昌君. 含玻璃相固体废物的蒸压反应特性[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2009, 37(12): 32-36.
[11]	胡贵平. 新加坡降雨中的可溶性痕量金属[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(7): 86-90.
[12]	邓涛. 建筑元素的表义性[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(7): 70-73.
[13]	何镜堂, 王扬. 当代岭南建筑创作探索[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(7): 65-69.
[14]	奕长福, 钟钜康. 一些在亚贝尔群上与多项式相联系的函数方程(I)#br#[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(7): 58-69.
[15]	乐茂华. 关于二项式系数的Jones问题[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(12): 84-85.