改进Turner法制备光纤探针

华南理工大学学报（自然科学版） ›› 2009, Vol. 37 ›› Issue (12): 7-11.

改进Turner法制备光纤探针

王周锋黄立高爱梅邓文礼

华南理工大学材料科学与工程学院, 广东广州 510640

收稿日期:2009-03-20 修回日期:2009-04-02 出版日期:2009-12-25 发布日期:2009-12-25
通信作者: 邓文礼（1963-），男，博士，教授，主要从事分子科学与纳米材料的研究．E-mail：wldeng@scut．edu．cn E-mail:wzhf923@sina．com
作者简介:王周锋（1980-），男，博士生，主要从事分子纳米组装与近场光学纤维探针的研究．
基金资助:
国家“973”计划项目（2009CB010600）;广东省自然科学基金资助项目（8151064101000111）

Fabrication of Fiber Probes Using Improved Turner Method

Wang Zhou-feng Huang Li Gao Ai-mei Deng Wen-li

School of Materials Science and Engineering, South China University of Technology, Guangzhou 510640, Guangdong, China

Received:2009-03-20 Revised:2009-04-02 Online:2009-12-25 Published:2009-12-25
Contact: 邓文礼（1963-），男，博士，教授，主要从事分子科学与纳米材料的研究．E-mail：wldeng@scut．edu．cn E-mail:wzhf923@sina．com
About author:王周锋（1980-），男，博士生，主要从事分子纳米组装与近场光学纤维探针的研究．
Supported by:
国家“973”计划项目（2009CB010600）;广东省自然科学基金资助项目（8151064101000111）

摘要/Abstract

摘要： 采用改进的Turner法制备近场光学显微镜光纤探针，考察了外界因素、腐蚀溶液及保护液体系性质等对探针形貌的影响，并与管式腐蚀方法制备的光纤探针的形貌进行了对比，对Turner法制备光纤探针的工艺进行了改进．结果表明：升高反应温度可明显提高反应速度，温度由0℃升至32℃时，反应速度增加1．6倍；腐蚀溶液浓度越高，制备的探针锥长越短、表面越粗糙；适当延长反应时间可增大探针的锥角；Turner法制备光纤探针时探针锥面蜂窝状粗糙形貌是光纤探针成尖过程的本质缺陷造成的；采用第二次修饰性腐蚀可以有效地改进探针的粗糙锥面，并增大探针的圆锥角。

关键词: 光纤探针, 化学腐蚀, 近场光学显微镜, 表面形貌

Abstract:

Fiber probes for near-field scanning optical microscope were fabricated using the improved Turner method. Then, the morphology of the probes affected by such parameters as the environment factor and the characteristics of the etchant and the cover layer was investigated and compared with that of the probes fabricated via the tube etching. Moreover, the process of the Turner method was modified. The results indicate that （ 1 ） the reaction speed greatly increases with the reaction temperature, and an temperature increase from 0℃ to 32℃ may accelerate the reaction by 1.6 times ; （2） with the increase of etching solution concentration, the taper length becomes shorter and the surface becomes rougher; （3） a suitable long reaction time may increase the taper angle of the probes; （4） the rough honeycomb taper surface of the probes is due to the inherent limitation of the taper-forming process; and （5） a second etching effectively smoothes the taper surface and enlarges the taper angle.

Key words: fiber probe, chemical etching, near-field scanning optical microscope, surface morphology

王周锋黄立高爱梅邓文礼. 改进Turner法制备光纤探针[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2009, 37(12): 7-11.

Wang Zhou-feng Huang Li Gao Ai-mei Deng Wen-li . Fabrication of Fiber Probes Using Improved Turner Method[J]. Journal of South China University of Technology (Natural Science Edition), 2009, 37(12): 7-11.

[1]	张恒马勤国胡赫牛富俊. 使用氯化钙溶液加固淤泥质黏土的电渗试验研究[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2019, 47(3): 119-125.
[2]	何亚峰卢文壮干为民 . 钛合金在不同溶液中的电化学腐蚀行为[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2017, 45(6): 124-130.
[3]	王文玺李建勇樊文刚刘月明. 砂带三维表面形貌特征量化评价方法[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2016, 44(12): 14-22.
[4]	李宁夏伟赵婧李风雷. 滚压诱导超细晶纯铁表层及其耐腐蚀性能[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2014, 42(9): 1-6.
[5]	黄祥. 各向异性表面生成算法及其应用[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2013, 41(7): 1-6.
[6]	王敏郭会勇黄文波李文芳张果戈. BaTiO₃介电薄膜的微弧氧化制备及表面形貌[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2011, 39(11): 109-113,119.
[7]	谢晋万启伟韦凤. 金刚石砂轮微观出刃形貌的参数化评价[J]. 华南理工大学学报（自然科学版）, 2009, 37(4): 46-51.