摘要: 在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AIGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液——0.5 mol HCl溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流等测量参数,获得了速度快、重复性好和数据准确可靠的测试效果.
中图分类号:
文尚胜 王朝阳. 电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(2): 85-87,95.