华南理工大学学报(自然科学版) ›› 2003, Vol. 31 ›› Issue (2): 85-87,95.

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电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布

文尚胜1 王朝阳2   

  1. 1.华南理工大学光通信材料研究所 广东广州 510640 ;2.华南理工大学应用物理系 广东广州510640
  • 出版日期:2003-02-20 发布日期:2022-04-07
  • 通信作者: 文尚胜(1964一),男,博士,副教授,主要从事光电子技术的研究。
  • 作者简介:文尚胜(1964一),男,博士,副教授,主要从事光电子技术的研究。
  • 基金资助:
    广东省科技攻关项目(2002B11604)

Electorchemical C-V Method for Measuring Disteibution of Carriers in AlGaInP led Epilayers

  • Online:2003-02-20 Published:2022-04-07
  • Contact: 文尚胜(1964一),男,博士,副教授,主要从事光电子技术的研究。
  • About author:文尚胜(1964一),男,博士,副教授,主要从事光电子技术的研究。

摘要: 在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AIGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液——0.5 mol HCl溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流等测量参数,获得了速度快、重复性好和数据准确可靠的测试效果.

关键词: AlGaInP LED外延片, 电解液, 电化学电容-电压测量法, 平带电位值, 耗散因子;

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