电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布

华南理工大学学报(自然科学版) ›› 2003, Vol. 31 ›› Issue (2): 85-87,95.

电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布

文尚胜¹ 王朝阳²

1.华南理工大学光通信材料研究所广东广州 510640 ;2.华南理工大学应用物理系广东广州510640

出版日期:2003-02-20 发布日期:2022-04-07
通信作者: 文尚胜（1964一），男，博士，副教授，主要从事光电子技术的研究。
作者简介:文尚胜（1964一），男，博士，副教授，主要从事光电子技术的研究。
基金资助:
广东省科技攻关项目(2002B11604)

Electorchemical C-V Method for Measuring Disteibution of Carriers in AlGaInP led Epilayers

Online:2003-02-20 Published:2022-04-07
Contact: 文尚胜（1964一），男，博士，副教授，主要从事光电子技术的研究。
About author:文尚胜（1964一），男，博士，副教授，主要从事光电子技术的研究。

摘要/Abstract

摘要： 在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AIGaInP LED外延片中载流子浓度纵向分布的电解液——0.5 mol HCl溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流等测量参数,获得了速度快、重复性好和数据准确可靠的测试效果.

关键词: AlGaInP LED外延片, 电解液, 电化学电容-电压测量法, 平带电位值, 耗散因子;

中图分类号:

TN 304

文尚胜王朝阳. 电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2003, 31(2): 85-87,95.

电化学C-V测量AlGaInP LED外延片中载流子浓度的分布

Electorchemical C-V Method for Measuring Disteibution of Carriers in AlGaInP led Epilayers

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