热处理对BaPbO3 薄膜化学组成及薄膜电阻的影响

华南理工大学学报(自然科学版) ›› 2007, Vol. 35 ›› Issue (8): 89-92.

热处理对BaPbO₃ 薄膜化学组成及薄膜电阻的影响

陆裕东王歆^† 庄志强刘勇

华南理工大学材料科学与工程学院，广东广州 510640

收稿日期:2006-05-23 出版日期:2007-08-25 发布日期:2007-08-25
通信作者: 王歆(1972-) ，副教授. E-mail: g96217@scut.edu.cn
作者简介:陆裕东(1979-)，男，博士，主要从事信息功能材料研究.
基金资助:
广东省自然科学基金资助项目(033177)

Effect of Heat Treatment on Chemical Composition and Sheet Resistance of BaPbO₃Thin Films

Lu Yu-dong Wang Xin Zhuang Zhi-qiang Liu Yong

School of Materials Science and Engineering , South China Univ. of Tech. , Guangzhou 510640 , Guangdong , China

Received:2006-05-23 Online:2007-08-25 Published:2007-08-25
Contact: 王歆(1972-) ，副教授. E-mail: g96217@scut.edu.cn
About author:陆裕东(1979-)，男，博士，主要从事信息功能材料研究.
Supported by:
广东省自然科学基金资助项目(033177)

摘要/Abstract

摘要： 以可溶性无机盐为原料，乙二氨四乙酸、柠檬酸、酒石酸为复合基合剂，水为溶剂，采用溶胶-凝胶法在Al₂O₃ 基片上制备了钙钛矿结构的BaPbO₃ 导电薄膜.利用X 射线衍射和能量散射X 射线能谱表征方法，并结合薄膜方块电阻的测定，探讨了热处理方式和热处理温度对薄膜化学组成及薄膜电阻的影响.研究表明，与常规热处理技术相比，采用快速热处理工艺制备BaPbO₃薄膜需要更高的热处理温度，同时，随着热处理温度的升高，薄膜中的Pb/Ba 摩尔比下降，导致薄膜方块电阻上升.采用常规热处理方法，在670℃下保温10 min 可以制备膜厚约2.5μm 、薄膜方块电阻，为32Ω/ 口的BaPbO₃ 薄膜.

关键词: 铅酸钡, 薄膜, 溶胶-凝胶法, 热处理, 化学组成, 方块电阻

Abstract:

Conductive perovskite-type BaPbÛ3 thin films were deposited onto Al₂O₃ substrates by a modified sol-gel method , using ethylene diamine tetra-acetic acid , citric acid and tartaric acid as the complex chelating agent and with water as the solvent. Then , the effects of heat treatment and temperature on the chemical composition and sheet resistance of the prepared films were investigated by XRD , EDXS and sheet resistance measurements. The results show that , in contrast with the conventional thermal annealing , the rapid thermal annealing technique requires higher annealing temperature to synthesize the BaPbO₃ phase and , at the same time , the molar ratio of Pb to Ba decreases with the increase of annealing temperature , which results in the increase of sheet resistance of BaPb03 thin films. Moreover , by the conventional thermal annealing technique , BaPbO₃ films with a sheet resistance of 32Ω/ 口and a thickness of 2. 5μm can be obtained by means of annealing at 670℃ for 10 min.

Key words: barium plumbate, thin film, sol-gel method, heat treatment, chemical composition, sheet resistance

陆裕东王歆庄志强刘勇. 热处理对BaPbO₃ 薄膜化学组成及薄膜电阻的影响[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2007, 35(8): 89-92.

Lu Yu-dong Wang Xin Zhuang Zhi-qiang Liu Yong. Effect of Heat Treatment on Chemical Composition and Sheet Resistance of BaPbO₃Thin Films[J]. Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition), 2007, 35(8): 89-92.

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Effect of Heat Treatment on Chemical Composition and Sheet Resistance of BaPbO₃Thin Films

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