掺铝氧化锌薄膜的结构与刻蚀性能

洪瑞江徐淑华

Structural and Etching Behavior of Al-Doped Zinc Oxide Thin Film

Hong Rui-jiang Xu Shu-hua

华南理工大学学报（自然科学版） . 2010, (6): 151 -156 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-565X.2010.06.028