平板型连续式处理室的多物理场仿真及实验

曾新安, 闫鹏, 蔡锦林, 等

Multi-Physical Field Simulation and Experiment of Plate-Type Continuous Treatment Chamber

ZENG Xinan, YAN Peng, CAI Jinlin, et al

华南理工大学学报（自然科学版） . 2021, (3): 80 -87 . DOI: 10.12141/j.issn.1000-565X.200145