自支撑金刚石厚膜片的HFCVD 法制备及摩擦学特性

冯伟杨斌卢文壮

Preparation and Tribological Properties of HFCVD-Based Freestanding Thick Diamond Film

FENG Wei YANG Bin LU Wen-zhuang

华南理工大学学报（自然科学版） . 2016, (11): 97 -102 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-565X.2016.11.015