有源层厚度对ZnO 薄膜晶体管电学性能的影响

刘玉荣李晓明苏晶

Effects of Active Layer Thickness on Electrical Properties of ZnO Thin- Film Transistors

Liu Yu- rong Li Xiao- ming Su Jing

华南理工大学学报（自然科学版） . 2013, (9): 23 -27,94 . DOI: 10.3969/j.issn.1000-565X.2013.09.004