GaAs MMIC钝化层介质Si<sub>3</sub> N<sub>4</sub>的可靠性评价

李斌林丽黄云钮利荣

Reliability Evaluation of Dielectric Si₃ N₄ Based on GaAs M M IC

Li Bin Lin Li Huang Yun Niu Li-rong

华南理工大学学报（自然科学版） . 2005, (12): 92 -95,104 .