温度对RTCVD 法制备多晶硅薄膜生长的影响

胡芸菲沈辉柳锡运郭志球刘正义

Effect of Temperature on Growth of Polycrystalline Silicon Thin Films Prepared via RTCVD

Hu Yun-fei Shen Hui Liu Xi-yun Guo Zhi-qiu Liu Zheng-yi

华南理工大学学报（自然科学版） . 2007, (4): 72 -76 .