基于 PVDF 的压电触觉传感器的研究进展

doi:10.12141/j.issn.1000-565X.190149

华南理工大学学报(自然科学版) ›› 2019, Vol. 47 ›› Issue (10): 1-12.doi: 10.12141/j.issn.1000-565X.190149

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基于 PVDF 的压电触觉传感器的研究进展

刘玉荣向银雪

华南理工大学电子与信息学院∥微电子学院，广东广州 510640华南理工大学电子与信息学院∥微电子学院，广东广州 510640

收稿日期:2019-04-01 修回日期:2019-05-22 出版日期:2019-10-25 发布日期:2019-09-01
通信作者: 刘玉荣( 1968-) ，男，博士，教授，主要从事传感器及集成技术研究． E-mail:phlyr@scut.edu.cn
作者简介:刘玉荣( 1968-) ，男，博士，教授，主要从事传感器及集成技术研究．
基金资助:
国家自然科学基金资助项目( 61871195) ;广东省自然科学基金资助项目( 2016A030313474)

Research Progress of PVDF-Based Piezoelectric Tactile Sensor

LIU Yurong XIANG Yinxue

1.
2. South China University of TechnSchool of Electronic and Information Engineering∥ School of Microelectronics，South China University of Technology， Guangzhou 510640，Guangdong，Chinaology

Received:2019-04-01 Revised:2019-05-22 Online:2019-10-25 Published:2019-09-01
Contact: 刘玉荣( 1968-) ，男，博士，教授，主要从事传感器及集成技术研究． E-mail:phlyr@scut.edu.cn
About author:刘玉荣( 1968-) ，男，博士，教授，主要从事传感器及集成技术研究．
Supported by:
Supported by the National Natural Science Foundation of China( 61871195) and the Natural Science Foundation of Guangdong Province( 2016A030313474)

摘要/Abstract

摘要： 聚偏氟乙烯( PVDF) 压电薄膜因具有柔韧性强、机械强度高、灵敏度高、频响范围宽等优点，在触觉传感器、超声换能器等领域具有广泛的应用前景．文中首先介绍了基于 PVDF 的压电触觉传感器的工作原理和制作工艺，然后从器件的压电性能优化、微结构化、集成化、柔性化、仿生化 5 个方面系统概述了 PVDF 压电触觉传感器的研究现状与发展趋势，讨论了其在机器手、微创手术、健康监测领域的应用研究与进展，最后分析了目前 PVDF 压电触觉传感器发展的不足和未来的主要研究趋势．

关键词: 聚偏氟乙烯薄膜, 触觉传感器, 压电, 柔性

Abstract: Polyvinylidene fluoride ( PVDF) piezoelectric film has wide application prospects in the fields of tactile sensors and ultrasonic transducers due to its advantages of strong flexibility，high mechanical strength，high sensitivity and wide frequency response range． Firstly，the working mechanism and manufacturing process of PVDFbased piezoelectric tactile sensor were introduced． Then，the research progress and development trend of PVDFbased piezoelectric tactile sensor were summarized from five aspects: piezoelectric properties improvement，structure optimization，device integration， flexibility and bionics． And its applications in robotic hands，minimally invasive surgery，health monitoring were also introduced in detail． Finally， the current shortcomings of the development of PVDF-based piezoelectric tactile sensor and the main research trend in the future were analyzed．

Key words:

polyvinylidene fluoride film, tactile sensor, piezoelectric, flexible

中图分类号:

TN384

刘玉荣向银雪. 基于 PVDF 的压电触觉传感器的研究进展[J]. 华南理工大学学报(自然科学版), 2019, 47(10): 1-12.

LIU Yurong XIANG Yinxue . Research Progress of PVDF-Based Piezoelectric Tactile Sensor[J]. Journal of South China University of Technology(Natural Science Edition), 2019, 47(10): 1-12.

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Research Progress of PVDF-Based Piezoelectric Tactile Sensor

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